スリットマスク交換機構
図1 スリットマスク交換機構
@垂直 運搬機構
(図2)と呼
ばれる機械 がマスク収納庫
からスリットマスクを引き出す。
A上へ移動
して、横に移動する水平運搬機構
(図3)というものにスリットマスクを渡
します。
B水平運搬機構は望遠鏡焦点部
ユニットの上まで移動して、そこにスリットマスクを設置
します。
@
A上へ
B水平運搬機構は
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